近日英諾賽科(珠海)科技有限公司為ASML光刻機(jī)成功導(dǎo)入8英寸硅基氮化鎵量產(chǎn)線舉辦了慶典。英諾賽科于2021年引入ASML光刻機(jī)，憑借著其卓越的成像性能和獨(dú)特的TWINSCAN架構(gòu)(雙晶圓工件平臺)，英諾賽科進(jìn)一步提升了硅基氮化鎵功率器件制造的產(chǎn)能及產(chǎn)線良率。此次慶典上，ASML副總裁兼中國區(qū)總經(jīng)理沈波代表ASML被英諾賽科授予“最佳戰(zhàn)略合作伙伴”稱號。
近年來，相較傳統(tǒng)硅材料，氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC)等第三代半導(dǎo)體，以其更小尺寸、更高轉(zhuǎn)換頻率、更高功率密度等特點(diǎn)，逐漸成為了全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的新焦點(diǎn)。此新材料可滿足節(jié)能、減排、智能制造等全球戰(zhàn)略需求。氮化鎵是“第三代半導(dǎo)體”關(guān)鍵材料之一，具有廣闊的市場前景，可滲透到包括消費(fèi)、工業(yè)和汽車類電子應(yīng)用領(lǐng)域。作為全球領(lǐng)先的8英寸硅基氮化鎵芯片制造商(IDM)，英諾賽科一直致力于推動第三代半導(dǎo)體制造技術(shù)的創(chuàng)新和革命。
英諾賽科首席執(zhí)行官孫在亨表示：“我們在今年第二季度引進(jìn)了ASML光刻機(jī)，改善了光刻工藝窗口，進(jìn)一步提高了產(chǎn)能和產(chǎn)線良率，帶來了可觀的成本效益。在設(shè)備入駐后，雙方技術(shù)團(tuán)隊(duì)密切合作，通過現(xiàn)場驗(yàn)證和快速迭代，技術(shù)挑戰(zhàn)迎刃而解，在短短三個月內(nèi)實(shí)現(xiàn)試生產(chǎn)，最終在10月進(jìn)入正式量產(chǎn)階段。通過與半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)跑者ASML的合作，加快了英諾賽科產(chǎn)品推向市場的速度，助力了氮化鎵半導(dǎo)體的蓬勃發(fā)展。”
這是一次重大突破，ASML光刻機(jī)首次進(jìn)入8英寸硅基氮化鎵量產(chǎn)線。為了給英諾賽科提供更有力的支持，ASML始終根據(jù)其制造需求不斷升級光刻設(shè)備ASML光刻機(jī)的順利入駐將持續(xù)助力英諾賽科的大規(guī)模量產(chǎn)，為其長期發(fā)展保駕護(hù)航。
“我們很榮幸能成為英諾賽科的合作伙伴，并為此次得獎感到自豪。英諾賽科的蓬勃發(fā)展反映了第三代半導(dǎo)體近年來的突飛猛進(jìn)和長期的發(fā)展?jié)摿?rdquo;沈波說，“ASML一直致力于以領(lǐng)先的光刻技術(shù)為客戶提供不懈的支持和服務(wù)，以推動整個半導(dǎo)體行業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展。我們將繼續(xù)為英諾賽科的持續(xù)發(fā)展提供先進(jìn)的技術(shù)和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。”
ASML 深紫外光刻業(yè)務(wù)資深副總裁Ron Kool表示：“我們也欣喜地看到ASML TWINSCAN的卓越性能首次在8英寸硅基氮化鎵芯片制造領(lǐng)域得到驗(yàn)證。我們完全有信心支持英諾賽科未來的持續(xù)增長。”關(guān)于英諾賽科
英諾賽科成立于2015年12月，是一家硅基氮化鎵芯片集成制造企業(yè)。隨著科學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展，全球電力能源和電力系統(tǒng)正在發(fā)生巨大轉(zhuǎn)變。我們的愿景是用先進(jìn)、高效、低成本的硅基氮化鎵助力新時代高效能源系統(tǒng)的建設(shè)。2017年11月，英諾賽科在珠海建設(shè)完成了全球首條8英寸硅基氮化鎵器件產(chǎn)線。為了滿足快速爆發(fā)的市場需求，2020年9月，英諾賽科蘇州工廠建設(shè)完成。作為領(lǐng)先的第三代半導(dǎo)體技術(shù)供應(yīng)商，英諾賽科1300多名員工及300多位研發(fā)專家致力于為客戶帶來更高性能、更高可靠性的解決方案，其氮化鎵功率器件產(chǎn)品可以廣泛應(yīng)用于云計(jì)算(數(shù)據(jù)中心)、汽車、移動電子設(shè)備、手機(jī)等領(lǐng)域。 關(guān)于ASML阿斯麥光刻
總部位于荷蘭的ASML是全球芯片制造設(shè)備領(lǐng)導(dǎo)廠商，并且是芯片光刻技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者。我們的愿景是驅(qū)動半導(dǎo)體的各種應(yīng)用來幫助解決人類生活中各種挑戰(zhàn)。為了實(shí)現(xiàn)這個目標(biāo)，我們提供創(chuàng)新的產(chǎn)品和服務(wù)來幫助芯片制造商不斷微縮芯片。我們不斷提高產(chǎn)品的性能，以幫助客戶持續(xù)提升芯片價值并降低成本。我們致力于讓芯片的性能更強(qiáng)大、價格更合理，進(jìn)而促使半導(dǎo)體技術(shù)能更廣泛的應(yīng)用于醫(yī)療、能源、通訊和娛樂等相關(guān)產(chǎn)品與服務(wù)中。
30多年來，ASML的成功來自于和客戶及供貨商緊密合作所共同創(chuàng)造的領(lǐng)先技術(shù)、高效能的流程和優(yōu)秀的員工。ASML在全球16個國家的60個城市設(shè)有辦公室，員工超過29000，包括中國員工1000多名。ASML為荷蘭阿姆斯特丹證券交易所和美國NASDAQ上市公司。
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